上海申弘閥門有限公司
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電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例
半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、化工行業(yè)、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術(shù)分為五個行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。用兩級反滲透制取電子工業(yè)超純水處理設(shè)備 采用兩級反滲透主機加EDI 制取電子工業(yè)超純水處理設(shè)備該類安全設(shè)備需根據(jù)被保護設(shè)備、系統(tǒng)的具體工況參數(shù)進行計算選型以更好地發(fā)揮保護作用,選定型號后方可進行報價,為保證使用,請盡早通過在線咨詢、熱線電話、在線留言、郵件等方式和我們聯(lián)系,工作人員會安排相應(yīng)區(qū)域的銷售工程師免費為您提供計算選型、報價及其他技術(shù)支持服務(wù),幫您快速選擇合適的產(chǎn)品并盡快為您安排發(fā)貨或生產(chǎn)排期。
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例工作原理
氮封閥用來調(diào)節(jié)儲罐頂部惰氣體層的壓力。氮封閥感應(yīng)儲罐內(nèi)的壓力并在壓力降到低于設(shè)定壓力時打開,以使惰性氣體流入。在壓力回升至設(shè)定壓力時,閥門關(guān)閉并停止,阻止惰性氣體繼續(xù)流入。氮封閥必須有三個外部接口,一個接口連接閥門和儲罐,測量儲罐壓力,第二個接口連接惰性氣體和閥門,惰性氣體供應(yīng)囗。第三個接囗連接閥門的出囗和儲罐,為儲罐提供惰性氣體。
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例注意事項
1、氮封閥裝置必須可靠,惰性氣體有足量的供應(yīng)。如果閥門損壞,供應(yīng)不足,將會導(dǎo)致儲罐內(nèi)的氧氣濃度偏高,而氧氣將會和蒸發(fā)介質(zhì)混合產(chǎn)生可燃物質(zhì)
2、應(yīng)該以有效輸送的方式將惰性氣體引入到罐槽中。
3、必須防止任何來源的惰性氣體污染。任何惰性系統(tǒng)應(yīng)該帶有適當(dāng)?shù)某凉裨O(shè)備,以將濕度維持在絕對極小值之內(nèi)。制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
主要用于保持容量頂部保護氣(一般為氮氣)的壓力恒定,以避免容量內(nèi)物料與空氣直接按觸,防止物料揮發(fā)、被氧化,以及容器的安全。特別適用于各類大型儲罐的氣封保護系統(tǒng)。該產(chǎn)品具有節(jié)能、動作靈敏、運行可靠、操作與維修方便等特點。氮封閥被廣泛應(yīng)用于石油、化工等行業(yè)。超純水設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。采用碳鋼多級離子交換還未裝入樹脂的去離子設(shè)備制取電子工業(yè)超純水處理
電子工業(yè)用超純水的應(yīng)用領(lǐng)域
1、半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
2、超純材料和超純化學(xué)試劑;
3、實驗室和中試車間;
4、汽車、家電表面拋光處理;
5、光電產(chǎn)品;
二、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例產(chǎn)品特點:
1、無需外加能源,能在無電、無氣的場合工作,既方便,又節(jié)約能源,降低成本;
2、氮封裝置供氮、泄氮壓力設(shè)定方便,可在連續(xù)生產(chǎn)的條件下進行;
3、壓力檢測膜片有效面積大,設(shè)定彈簧剛度小,動作靈敏,裝置工作平穩(wěn);
4、采用無填料設(shè)計,閥桿所受磨擦力小,反應(yīng)迅速,控制精度高;
5、供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達100:1,減壓效果好,控制精度高;
6、為確保儲罐的安全,需在罐頂設(shè)置呼吸閥;
7、呼吸閥僅起安全作用,避免了常規(guī)氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。
三、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例結(jié)構(gòu)與工作原理:
氮封裝置是由供氮裝置和泄氮裝置兩部分組成。供氮裝置由指揮器和主閥兩部分組成;泄氮裝置由反饋的壓開型微壓調(diào)節(jié)閥組成。氮氣壓力一般設(shè)為100mmH2O,通過氮封裝置精確控制。
當(dāng)儲罐進液閥開啟,向罐內(nèi)添加物料時,液面上升,氣相部分容積減小,壓力升高,當(dāng)罐內(nèi)壓力升至高于泄氮裝置壓力設(shè)定值時,泄氮裝置打開,向外界釋放氮氣。使罐內(nèi)壓力下降,降至泄氮壓力設(shè)定點時,泄氮裝置自動關(guān)閉。
當(dāng)儲罐出液閥開啟,用戶放料時,氣相部分容積增大,罐內(nèi)壓力降低,供氮裝置開啟,向儲罐注入氮氣,使罐內(nèi)壓力上升,當(dāng)罐內(nèi)壓力上升至供氮裝置自動關(guān)閉。
序號 | 品 名 | 型 號 及 規(guī) 格 | 單位 | 數(shù)量 | 單 價 (元) | 金 額 (元) | 閥體材質(zhì)及其它 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP-II DN25 PN16 進口壓力 0.1-0.5 MPA, 出口壓力1 KPA 快卡接口連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細(xì)要求見附件 | ||
2 | 泄氮閥 | 泄氮閥ZXD-16 DN25 PN16起跳壓力1.5 KPA 快卡接口連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細(xì)要求見附件 | ||
3 | 呼吸閥 | 阻火呼吸閥HXF-IV DN25 PN10 正壓:2KPA 負(fù)壓:-800PA快卡接口連接連接 | 臺 | 1 | SUS304不銹鋼 詳細(xì)要求見附件 |
四、電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例技術(shù)參數(shù)及性能指標(biāo):
公稱通徑DN(mm) | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | ||||||||
閥座直徑dn(mm) | 5 | 6 | 7 | 8 | 10 | 12 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 |
額定流量系數(shù)Kv | 0.2 | 0.32 | 0.5 | 0.8 | 1.8 | 2.8 | 4.4 | 6.9 | 11 | 20 | 30 | 48 | 75 | 120 | 190 |
額定行程L(mm) | 8 | 10 | 14 | 20 | 25 | ||||||||||
流量特性 | 快開 | ||||||||||||||
壓力調(diào)節(jié)范圍(kPa) | 0.4~5.5、5~10、9~14、13~19、18~24、22~28 27~33、31~38、36~44、42~51、49~58、56~66 | ||||||||||||||
公稱壓力PN(MPa) | 1.6 2.5 4.0 | ||||||||||||||
被調(diào)介質(zhì)溫度(℃) | ≤80 | ||||||||||||||
調(diào)節(jié)精度(%) | ±5% | ||||||||||||||
允許泄漏等級 | 標(biāo)準(zhǔn)級:Ⅳ級(GB/T4213-92) 嚴(yán)密型:Ⅵ級(GB/T4213-92) |
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例電子行業(yè)制備超水的工藝大致分成以下幾種:
1、采用離子交換樹脂制備超純水的傳統(tǒng)水處理方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→陽床→陰床→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備進行組合的方式,其基本工藝流程為:原水→沙炭過濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→混床(復(fù)床)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點
3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備進行搭配的的方式,這是一種制取超純水的最新工藝,也是一種環(huán)保,經(jīng)濟,發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸程窟^濾器→精密過濾器→原水箱→反滲透設(shè)備→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點離子多級離子交換樹脂 采用反滲透加EDI電去離子 制取電子工業(yè)超純水處理 制取電子工業(yè)超純水處理
電子工業(yè)用超純水快裝氮封閥應(yīng)用案例三種制備電子工業(yè)用超純水的工藝比較
目前制備電子工業(yè)用超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:
1、第一種采用離子交換樹脂其優(yōu)點在于初投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
2、第二種采用反滲透作為預(yù)處理再配上離子交換設(shè)備,其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高,但離子設(shè)備再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。但對環(huán)境還是有一定的破壞性。
3、第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子(EDI)裝置,這是目前制取超純水用來制取超純水的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初投資相對以上兩種方式過于昂貴。
我們公司生產(chǎn)的電子超純水設(shè)備特點
設(shè)備通常由多介質(zhì)過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構(gòu)成前期預(yù)處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構(gòu)成主要設(shè)備系統(tǒng)。水箱均設(shè)有液位控制系統(tǒng)、水泵均設(shè)有壓力保護裝置、在線水質(zhì)檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設(shè)備與其它同類產(chǎn)品相比較,具有更高的性價比和設(shè)備可靠性。