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超純水水箱氮封閥三件套應用案例
主要用于儲罐頂部氮氣壓力恒定控制,以保護罐內物料不被氮化及儲罐安全。氮封閥由ZZDQ快速泄放閥及ZZV自力式微壓調節閥兩大部分組成。快速泄放閥由壓力控制器及ZMQ-16K型單座切斷閥組成。儲罐內壓力升高至設定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥在儲罐內壓力降低時,開啟閥門,向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現場壓力較高,必須安裝ZZYP型壓力調節閥將壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質溫度溫度≤80℃。
現已 用于連續送氣的天然氣采輸,城市煤氣以及冶金、石油、化工等工業生產部門。氮氣在常況下是一種無色無味的氣體,占空氣體積分數約78%(氧氣約21%)。熔點是63K,沸點是77K,臨界溫度是126K,難于液化。溶解度很小,常壓下在283K時一體積水可溶解0.02體積的氮氣。
玻璃鋼氮封水箱主要用于儲罐頂部氮氣壓力恒定控制,以保護罐內物料不被氮化及儲罐安全。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成??焖傩狗砰y由壓力控制器及單座切斷閥組成。
超純水水箱氮封閥三件套應用案例
儲罐內壓力升高至設定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥在儲罐內壓力降低時,開啟閥門,向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現場壓力較高,必須安裝壓力調節閥將壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。公稱壓力0.1Mpa,壓力可按分段設定,從0.5Kpa 至66 Kpa以下,介質溫度溫度≤80℃。
超純水氮封水箱是一種用于存儲高純度化學試劑、電子元器件以及其他敏感物質的設備。它采用特殊的密封技術和高效的過濾系統,可以將內部空氣和水分子凈化佳的純度,并在箱體內注入氮氣,形成穩定的惰性氣氛,從而有效地防止物質受到空氣、水分或其他不純雜質的污染和氧化。超純水氮封水箱在科研實驗、制藥生產、半導體制造等領域得到廣泛應用。
空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質,而超純水為純的溶劑,對這些雜質的溶解能力很強,一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實踐證明15MΩ.cm以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ.cm,3分鐘以后就會下降到2MΩ.cm左右,因此超純水的儲存容器需確保水體與空氣的接觸。
指揮器操作型自力式壓力調節閥(這里簡稱供氮閥)和自力式微壓調節閥(簡稱泄氮閥)兩大部份組成。當罐內壓力升高超過設定值時,供氮閥關閉,泄氮閥打開(罐頂未設呼吸閥,或呼吸閥故障打不開),將罐內多余壓力泄放。在儲罐內壓力降低時,泄氮閥處于關閉狀態,供氮閥打開,向罐內注氮氣。供氮閥閥前壓力最好在1.0Mpa以下,現場壓力較高時,可在供氮閥前安裝一只ZZYP型自力式壓力調節閥將壓力減至。1.0 Mpa以下,以提高可靠性和使用效果。
原水箱→原水泵→機械過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→一級 RO 水箱→二級高壓泵混→二級反滲透裝置→二級 RO 水箱→EDI 增壓泵→紫外線殺菌器→EDI 前置過濾器→EDI 裝置→氮封水箱→TOC 殺菌器→拋光混床→微孔過濾→用水點
在水箱上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力,氮氣是惰性氣體能防上CO2等其它物質溶入水中影響水質,阻止大氣與箱內水面接觸。超純水在空氣中如果被二氧化碳、細菌、塵埃等雜質污染,其作為純度的溶劑對這些雜質的溶解能力很強。故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降。
超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內,水箱內氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質,保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。空氣中含有二氧化碳、細菌、塵埃等雜質,而超純水為純的溶劑,對這些雜質的溶解能力很強,故一旦超純水與空氣接觸,就會使其電阻率迅速下降,實踐證明15MΩ·m以上的超純水暴露在空氣中1分鐘后水質就會下降至3-4MΩ·m,3分鐘以后就會下降到2MΩ·m左右,因此超純水的儲存容器需確保水體不與空氣的接觸。
超純水水箱氮封閥三件套應用案例的工作原理:
超純水設備的氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內,水箱內氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質,保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當儲罐內壓力升高至設定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥是在儲罐內壓力降低時,開啟閥門,向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現場N2壓力較高,必須安裝壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。
壓力可按要求分段設定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
微壓調節閥壓力調節范圍內選定一設定值 如:3Kpa。
泄氮設定值的設定應遠離供氮壓力值,如:8Kpa。
具體壓力的設定值要根據純水系統的產水量和水箱容量大小來確定選擇。
氮氣 (N2)的純度為99.999%以上。
超純水水箱氮封閥三件套應用案例處理超純水與空氣接觸的方法:
充氮法:即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力,阻止大氣與箱內水面接觸。
薄膜袋法:即在在水箱內設置袋狀薄膜覆蓋于水面上,薄膜袋隨水位升降,減少水面與空氣接觸面積。
浮頂法:即以密度比水輕的輕質材料在水箱內制成整塊板狀浮頂浮于水面,并用輕質彈性材料(如海綿、發泡塑料等)遮蓋浮頂與箱間的間隙,浮頂隨水面升降。從而減少空氣與水面的接觸機會。
超純水水箱氮封閥三件套應用案例 產品特點
(1)無需外加能源,能在無電、無氣的場合工作,既方便又節約能源,降低成本。
(2)氮封裝置供氮,泄氮壓力設定方便,可在連續經營的條件下進行。
(3)壓力檢測膜片有效面積大,設定彈簧剛度小、動作靈敏、裝置工作平衡。
(4)采用無填料設計,閥桿所受磨擦力小、反應迅速、控制精度高。
(5)供氮裝置采用指揮器操作,減壓比可達100:1,減壓效果好、控制精度高。
(6)為確保儲罐的安全,需在罐頂設置呼吸閥。
(7)呼吸閥公起安全作用,避免了常規氮封裝置中啟閉頻繁易損壞的缺陷。
超純水水箱氮封閥三件套應用案例
序號 | 品 名 | 型 號 及 規 格 | 單位 | 數量 |
1 | 氮封閥 | 氮封閥ZZYVP DN32 PN16 介質:氮氣 進口壓力 0.3-0.6 MPA, 出口壓力0.8KPA 法蘭類型HGT 20592 PN16 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM | 臺 | 1 |
2 | 泄氮閥 | 泄氮閥ZXD-16 DN32 PN16 起跳壓力1.5 KPA 法蘭連接 法蘭類型HGT 20592 PN16 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM | 臺 | 1 |
3 | 呼吸閥 | 呼吸閥 CFQ DN32 PN16 介質:氮氣 法蘭類型HGT 20592 PN16 DN32 螺絲孔中心距100MM 4個螺絲孔,螺絲孔大小18MM 呼氣壓力:2Kpa, 吸氣壓力:-298 pa, | 臺 | 1 |
三、超純水水箱氮封閥三件套應用案例 主要技術參數
公稱通徑(mm) | 20 | 25 | 40 | 50 | 80 | 100 | 150 | |||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
閥座直徑(mm) | 6 | 15 | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | 125 | 150 |
額定流量系數Kv | 3.2 | 5 | 8 | 10 | 20 | 32 | 50 | 80 | 100 | 160 | 250 | 400 |
壓力調節范圍 | 0.5~70 20~120 60~400 300~700 500~1000 KPa | |||||||||||
公稱壓力PN | 1.0、1.6 MPa | |||||||||||
被調介質溫度 | 80、200 ℃ | |||||||||||
流量特性 | 快開型 | |||||||||||
調節精度 | ≤5% | |||||||||||
允許壓降(MPa) | 1.6 | 1.6 | 1.1 | 0.6 | 0.4 | |||||||
薄膜有效面積(C㎡) | 200 | 280 | 400 | |||||||||
允許泄漏量 | 符合ANSIB16.104—1976 IV級 | |||||||||||
閥蓋形式 | 標準型 (整體式) | |||||||||||
壓蓋型式 | 螺栓壓緊式 | |||||||||||
密封填料 | V型聚四氟乙烯填料、含浸聚四氟乙烯石棉填料、石棉紡織填料、石墨填料 | |||||||||||
閥芯形式 | 單座型閥芯 | |||||||||||
流量特性 | 直線性 |
超純水水箱氮封閥三件套應用案例技術參數
公稱通徑DN(mm) | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | |
額定流量 系數Kv | ZZCP/ZZVP | 8 | 11 | 20 | 32 | 50 | 80 | 100 | 160 |
ZZCN | 53 | 83 | |||||||
額定行程(mm) | 6 | 8 | 10 | 15 | 20 | ||||
公稱壓力PN(MPa) | 0.10 1.0 | ||||||||
差壓調節范圍(kPa) | 0.5~5.5 5~10 9~14 13~19 18~24 22~28 26~33 31~38 36~44 42~51 49~58 56~66 64~78 76~90 8~100 | ||||||||
介質溫度(℃) | ≤ 80 | ||||||||
調節精度(%) | ≤ 10 | ||||||||
允許泄漏 量(l/h) | ZZCP/ZZVP | 10 -4 X閥額定容量(Ⅳ級) | |||||||
ZZCN | 5X10 -3 X閥額定容量( II級) |
規格重量
DN | 20 | 25 | 32 | 40 | 50 | 65 | 80 | 100 | |
A | 308 | 394 | 308 | 394 | 308 | 394 | 394 | 394 | |
H | ZZCP/ZZVP | 376 | 465 | 365 | 445 | 445 | 490 | 490 | 510 |
ZZCN | 536 | 536 | |||||||
L | ZZCP/ZZVP | 150 | 160 | 180 | 200 | 230 | 290 | 310 | 350 |
ZZCN | 222 | 222 | |||||||
重量 G(Kg) | 12 | 13 | 15 | 17 | 20 | 28 | 38 | 43 | |
導壓管螺紋接頭 | M16X1.5 |
超純水水箱氮封閥三件套應用案例終端過濾工藝
傳統的超純水系統常采用微米級精濾器,一般選用0.1μm/0.22μm微孔折疊膜濾芯過濾,以去除超純水中存在的細小微粒和細菌,攔截可能脫落的混床樹脂,保證產水水質的穩定。而在半導體行業中多采用超濾作為終端過濾器,其作用跟上述微濾相同,只是相關指標要求更加嚴苛。一般要求能夠截留相當于分子量6000Da的微小顆粒,有效去除絕大部分微污染物。
五、超純水水箱氮封閥三件套應用案例安裝注意事項
(1)安裝前,檢查整機零件是否缺損與松動,對管道應進行清洗,介質流向應與閥體上的箭頭指向一致。
(2)為便于現場維護與操作,閥四周應留有適當空間與設置旁路手動閥,閥組安裝方案。
(3)閥門應正立垂直安裝在水平管道上,閥體與管道的法塵連接,要注意同軸度,并應安裝在環境溫度不超過-25~55℃的場合使用。
氮氣是難液化的氣體。氮氣在極低溫下會液化成無色液體,進一步降低溫度時,更會形成白色晶狀固體。在生產中,通常采用黑色鋼瓶盛放氮氣。一種超純水氮封裝置,包括氮氣供應端、氮封水箱、純水供應端,其特點在于;所述氮氣供應端通過空氣減壓閥、電磁閥,將氮氣從氮封水箱的輸入口輸送到氮封水箱中;所述氮封水箱還設有氮氣輸出口、純水輸出口;所述氮氣輸出口、純水供應端均與水封桶連接;所述氮封水箱氮氣壓力過高時,氮氣輸出口用來將多余氮氣通過水封桶排出;所述純水輸出口通過壓力泵驅動,將純水輸送到用水端;所述經用水端后的純水通過回水端、輸入口將回水送到氮封水箱中;所述純水供應端也通過輸入口將純水輸送到氮封水箱中。這種超純水氮封裝置雖然具有節能、操作方便的有點,但是超純水在氮封是還是存在被污染和耗氣量多的現象。
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