上海申弘閥門有限公司
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真空設(shè)備展覽
上海申弘閥門有限公司
在真空系統(tǒng)中,用來改變氣流方向,調(diào)節(jié)氣流量大小,切斷或接通管路的真空系統(tǒng)元件稱為真空閥門。上海申弘閥門有限公司主營閥門有:截止閥,電動截止閥,氣動截止閥,電動蝶閥,氣動蝶閥,電動球閥,氣動球閥,電動閘閥,氣動閘閥,電動調(diào)節(jié)閥,氣動調(diào)節(jié)閥,減壓閥。水力控制閥、真空閥門、襯膠閥門、襯氟閥門。
真空閥門在真空系統(tǒng)中的作用是:
(1)開關(guān)氣路 如圖1所示,當(dāng)閥1和閥4關(guān)閉,閥2打開時,機(jī)械真空泵Ⅲ對容器I抽真空,氣流流經(jīng)預(yù)真空抽氣管路;當(dāng)閥2關(guān)閉,閥4打開時,機(jī)械泵可單獨對擴(kuò)散泵抽真 空;當(dāng)閥1和閥4同時打開時,擴(kuò)散泵和機(jī)械泵可同時工作,對容器進(jìn)行抽空,此時氣流流經(jīng)擴(kuò)散泵??梢?,閥門在這種操作中的作用是開關(guān)氣路,改變氣流的流經(jīng) 路線。
(2)控制氣流大小,調(diào)節(jié)真空度在圖1中,調(diào)節(jié)閥1的閥蓋開啟角度,即可調(diào)節(jié)流經(jīng)管路的氣流量大??;關(guān)閉閥2和閥4,通過放氣閥3可以給機(jī)械泵Ⅲ的入口放成大氣;通過放氣閥5可以調(diào)節(jié)容器內(nèi)的真空度。
(3)定量充氣如圖2所示,在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞,當(dāng)小洞轉(zhuǎn)向右邊和高壓氣瓶連通時,小洞中就可充滿高壓氣體;當(dāng)它轉(zhuǎn)向左邊和真空容器連通時,就把該體積的高壓氣體放進(jìn)容器中去,這樣就起到了定量充氣的作用。
真空閥門的種類繁多,通常按閥門的職能、結(jié)構(gòu)型式、驅(qū)動方式、材料和用途進(jìn)行分類,其分類見表1。
真空閥門的型號編制方法國家專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)作了規(guī)定,可查閱有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。
1. 真空獲得設(shè)備;旋片真空泵、油擴(kuò)散泵、羅茨真空泵、油增壓泵、渦輪分子泵、鈦升華泵;
2. 真空應(yīng)用設(shè)備:各種真空冶金設(shè)備與熱處理設(shè)備、真空電鍍設(shè)備、真空包裝設(shè)備等;
3. 真空鍍膜設(shè)備:包括各種靶、靶材、消耗材料及各種電源;真空鍍膜加工
4. 納米科技與裝備、納米材料與納米器件
5. 真空閥門及真空零部件:包括各種真空電子元器件、真空系統(tǒng)附件及真空動、靜密封器件等;
6. 真空測量與校準(zhǔn)儀器、儀表及真空檢漏儀器;
7. 真空材料、真空泵油及真空工程配套設(shè)備;
8. 各種表面儀器(AES、SEM、XPS、SIMS等)及分子束外延設(shè)備(MBE)
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